上海三井真空设备有限公司

saes集团一直以来都是吸气剂技术发展的先锋。2011年起，三井真空成为saes 吸气剂泵产品在中国大陆的独家总代理。

吸气剂泵（NEG）是一种化学吸附泵。它能吸收各种活性气体，如氢、氧、氮、二氧化碳、一氧化碳等。吸气剂材料与活性气体发生化学反应， 生成极低蒸气压的固体化合物，从而永久性地抽除真空系统中的各种活性气体。氢气是通过溶解到吸气剂体内形成固溶体而被抽除的，但可以再生吸气剂组件，释放出氢气，恢复抽速和抽气容量。它特别适用于超高真空（UHV）系统。如果和SIP联合使用，能够增加低压强区域的抽速，系统可以达到10^－10Pa的极限真空。吸气剂泵和TSP的性能和作用有相似之处。

●　无油、无震动、无电磁场；

●　对活性气体抽速高、抽气容量大，但不能抽除惰性气体和甲烷等气体；

●　抽速和压强无关，和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa；

●　抽速体积比高，抽速价格比高；

●　激活后室温抽气无需电源；

●　重量轻，更换NEG泵芯方便；

●　可以根据实际要求设计泵的结构形状和抽速大小。

●　需要获得超高和极高真空的系统都可以用NEG和离子泵、低温泵或TMP联合抽气达到指标；

●　利用NEG只能抽除活性气体，不能抽除惰性气体的特点，用于惰性气体的纯化；

●　它被广泛使用于以下领域：粒子加速器和同步辐射光源、核聚变装置（Tokamak）、空间技术、表面科学、材料科学、

分析、检测和计量设备、原子钟、便携式真空仪器等。