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钛升华泵

无油、无震动、无电磁场;在UHV时提供大抽速,和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa;重量轻,更换钛丝和维修方便。

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钛升华泵(TSP)可以有效抽除活性气体H2、N2、CO等,适用于超高真空(UHV)系统。

三井真空提供钛钼丝型钛升华泵。它的结构简单,更换钛钼丝方便,体积小,抽速大,热出气率低,钛钼丝的钛利用率高达80%以上。TSP的抽速和钛钼丝的升华速率以及泵体内壁钛蒸着面积有关。

TSP和离子泵(SIP)联合使用,增加了低压强区域的抽速,可以达到10-10Pa的极限真空,这和NEG的性能和作用相似。TSP和NEG都需要激活才能抽气,它们的激活电流相近, 可以设计制造两者通用的电源。外形体积相当的TSP和NEG比较,TSP抽速较大、抽气容 量小、价格低,NEG的抽速小、抽气容量大、价格高。在一个真空系统上可以同时使用TSP和NEG,但要合理安排它们的激活程序,尽可能不让一个激活时的出气被另一个抽除。

三井真空的TSP、SIP和NEG已经大量联合使用于上海光源和合肥光源等大科学装置上。

● 无油、无震动、无电磁场;

● 对活性气体抽速高,不能抽除惰性气体和甲烷等气体;

● 在UHV时提供大抽速,和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa;

● 抽速体积比高,抽速价格比高;

● 激活后室温抽气无需电源;

● 可根据使用空间设计泵壳尺寸;

● 重量轻,更换钛丝和维修方便。

● 安装法兰:CF35

● 钛钼丝材料:85% Ti 15% Mo

● 钛钼丝直径:2.1毫米

● 每个泵芯中的钛钼丝根数:3根

● 抽速:对于特定钛钼丝,抽速和内壁钛蒸着面积有关

钛升华泵

(长度也可根据客户需要定制)