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(SIP+NEG)复合泵

复合泵结合了离子泵和吸气剂泵的优点,互补了两者的缺点,具有了全新的特点。

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对于超高或极高真空系统,(SIP+NEG)复合泵是一种理想的选择。

复合泵结合了离子泵和吸气剂泵的优点,互补了两者的缺点,具有了全新的特点。

离子泵 吸气剂泵 (SIP+NEG)复合泵
压强<10-6Pa时抽速下降 抽速和压强无关 抽速曲线更平,压强范围更广,极限真空更高,可达10-10Pa
体积大、重量大 体积小、抽速大、抽气容量大 NEG组件嵌入SIP空腔,复合泵体积不变,重量几乎不变,抽速成倍增加,抽速体积比成倍增加
氢抽速小于抽其它活性气体,大量抽氢后阴极易脆裂 氢抽速高,抽气容量大,可以再生恢复抽速和抽气容量 综合了SIP和NEG的抽氢能力。SIP停止工作,就可再生NEG,恢复NEG泵的抽氢性能
三极泵能抽除惰性气体 不能抽除惰性气体 保留了离子泵抽除惰性气体的能力
无油、无震动、无噪音 无油、无震动、无噪音 无油、无震动、无噪音
断电不能继续工作 激活后常温抽气无需电源 断电时吸气剂泵继续抽气,复合泵抽速下降,系统内压强上升,但仍能维持相同量级压强

(SIP 300l/s + NEG WP1250)

离子泵 吸气剂泵 (SIP+NEG)复合泵
SP-200 1~2个D400-2组件 SPD-200
SP-400 1~2个D400-2组件 SPD-400
SP-600 1~4个D400-2组件 SPD-600

可以根据客户的具体要求,选择合适的离子泵,或自行设计特殊结构的离子泵,选择吸气剂组件型号和数量,制造特殊的复合泵。

复合泵

SPD-200


复合泵

SPD-400


复合泵

SPD-600