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离子泵

极限真空3x10-9Pa,与国际知名产品性能相当,性价比高。三井离子泵名义抽速均指真空度在10-6Pa量级时的有效抽速。

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溅射离子泵是三井真空的优势产品。百分百三井原创技术,不仿造。产品已形成系列化,各项性能指标达到国际先进水平,国内市场占有率领先,并出口到国外。

三井真空离子泵已在北京正负电子对撞机、上海光源、合肥光源、兰州重离子加速器等大科学装置上全面取代了进口离子泵,达到了装置的真空性能指标,既节省了大量经费,又保证了及时的售后服务。

三井真空离子泵广泛应用于各种超高真空的科研装置和工业设备,涉及的行业有加速器、同步辐射光源、大功率激光研究、表面物理、材料科学、空间模拟、电子显微镜、质谱仪、真空校准、真空冶炼、真空镀膜、半导体应用设备、真空电子器件等行业。

公司可以根据客户需要设计特殊结构的离子泵。

  • 离子泵

    上海光源储存环
  • 离子泵

    兰州重离子加速器冷却储存环
  • 离子泵

    BEPCII储存环

● 离子泵无运动机构,是真正的无油、无震动、无噪音的洁净真空泵;

● 极低的极限压强(可达3x10-9Pa),主要作为超高和极高真空系统的主泵(为获得更好的真空,可以选择和吸气剂泵配合使用)。如有需要,也可为客户定制极限真空达10-10Pa离子泵;

● 宽阔平坦的抽速曲线(压强范围10-9~10-3Pa;1×10-7Pa时抽速约为标称抽速的70%);

性能特点

● 离子流和压强成正比,可用于真空测量;

● 寿命和压强成反比,超高真空抽气时寿命极长,如1x10-3Pa时寿命为5,000小时,1x10-7Pa时寿命是前者的104倍。若阴极耗完,更换即可;

● 二极离子泵对氩气抽速仅为氮气的1%,不适于抽除惰性气体,但可用于检漏;

● 三极式离子泵对氩气抽速可达氮气的20%,可以有效抽除惰性气体;

● 只需市电就能正常工作,突然停电不损坏设备,不破坏真空,无需值班运行;

● 抽气时耗电极少,无需水冷,运行经济;

● 智能化电源带有计算机接口,便于自动连锁保护,电源故障率低;

● 自带烘烤装置,烘烤方便;

● 可以保持真空状态运输和储存;

● 维修简单方便,费用低。

型号 名义抽速(L/s) < 1x10-4Pa下 使用寿命(hrs) 最大允许启动 压强(Pa) 极限真空 最高烘烤温度(℃) 法兰接口 重量(Kg) 自带烘烤功率 (Kw)
2极 3极 (Pa)
SP-3 3   >50000 1x10-2 3x10-8 120 或 250 CF16    
SP-6 6   >50000 1x10-2 3x10-8 120 或 250 CF16    
SP-8 8   >50000 1x10-2 3x10-8 120 或 250 CF35    
SP-15 15 >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF35
SP-25 25   >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF63 11  
SP-30 30   >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF63 13  
SP-50 50   >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF100 32  
SP-70 70 56 >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF100 31  
SP-100 100 80 >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF100 44  
SP-150 150 120 >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF150 68  
SP-200 220 180 >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF150 83 0.72
SP-300 300 240 >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF150 98  
SP-400 440 360 >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF150 143 0.99
SP-600 620 500 >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF200 210 1.42
SP-1000 1100 880 >50000 1x10-1 3x10-9 300 CF200 290 1.98
SP-1500 1500 1200 >50000 1x10-1 3x10-9 300 Φ300金属圈密封    
SP-2000 2000 1600 >50000 1x10-1 3x10-9 300 Φ300金属圈密封    

图中尺寸仅供参考,请以签订合同时图纸为准

离子泵

SP-3


离子泵

SP-6


离子泵

SP-8


离子泵

SP-15


离子泵

SP-30


离子泵

SP-70


离子泵

SP-100


离子泵

SP-200


离子泵

SP-400


离子泵

SP-600


离子泵

SP-600(扁形)


离子泵

SP-1000(CF200)


离子泵

SP-1000(CF200扁形)


离子泵

SP-1000(CF150)


三井真空溅射离子泵专用电源采用1/2机箱,配用先进的液晶数显仪表,具有体积小、显示精度高、稳定、可靠、美观等特点。同时它还具有计算机控制接口和多种保护功能,配备两档高压输出选择,供离子泵在不同工作压强时选用。其主要技术指标如下:

● 输入电压:~220V,50HZ

● 变压器最大输出功率:250W

● 输出直流高压:4KV、6KV

● 离子流测量范围:0.1uA~1000mA

● 仪器重量:11Kg

● 具有短路、过载、过热等保护功能。

离子泵内的气体分子在电磁场中高效电离,离子在高压作用下轰击阴极钛板,溅射出新鲜钛材,沉积在阳极筒壁上。活性气体如氮、氧、一氧化碳、二氧化碳等和新鲜钛原子反应,生成稳定的化合物。氢气轰击阴极不能引发溅射,而是钻入阴极内部,形成固溶体抽除。吸附在阳极壁上的惰性气体则被沉积的钛材淹埋抽除。离子泵不是将气体排出真空系统,而是将气体封存于泵内。