钛升华泵（TSP）可以有效抽除活性气体H₂、N₂、CO等，适用于超高真空（UHV）系统。

三井真空提供钛钼丝型钛升华泵。它的结构简单，更换钛钼丝方便，体积小，抽速大，热出气率低，钛钼丝的钛利用率高达80%以上。TSP的抽速和钛钼丝的升华速率以及泵体内壁钛蒸着面积有关。

TSP和离子泵（SIP）联合使用，增加了低压强区域的抽速，可以达到10^-10Pa的极限真空，这和NEG的性能和作用相似。TSP和NEG都需要激活才能抽气，它们的激活电流相近， 可以设计制造两者通用的电源。外形体积相当的TSP和NEG比较，TSP抽速较大、抽气容 量小、价格低，NEG的抽速小、抽气容量大、价格高。在一个真空系统上可以同时使用TSP和NEG，但要合理安排它们的激活程序，尽可能不让一个激活时的出气被另一个抽除。

三井真空的TSP、SIP和NEG已经大量联合使用于上海光源和合肥光源等大科学装置上。

●　无油、无震动、无电磁场；

●　对活性气体抽速高，不能抽除惰性气体和甲烷等气体；

●　在UHV时提供大抽速，和SIP联合抽气极限压强可达到10^-10Pa；

●　抽速体积比高，抽速价格比高；

●　激活后室温抽气无需电源；

●　可根据使用空间设计泵壳尺寸；

●　重量轻，更换钛丝和维修方便。

●　安装法兰：CF35

●　钛钼丝材料：85% Ti 15% Mo

●　钛钼丝直径：2.1毫米

●　每个泵芯中的钛钼丝根数：3根

●　抽速：对于特定钛钼丝，抽速和内壁钛蒸着面积有关

（长度也可根据客户需要定制）