溅射离子泵是三井真空的优势产品。百分百三井原创技术，不仿造。产品已形成系列化，各项性能指标达到国际先进水平，国内市场占有率领先，并出口到国外。
三井真空离子泵已在北京正负电子对撞机、上海光源、合肥光源、兰州重离子加速器等大科学装置上全面取代了进口离子泵，达到了装置的真空性能指标，既节省了大量经费，又保证了及时的售后服务。
三井真空离子泵广泛应用于各种超高真空的科研装置和工业设备，涉及的行业有加速器、同步辐射光源、大功率激光研究、表面物理、材料科学、空间模拟、电子显微镜、质谱仪、真空校准、真空冶炼、真空镀膜、半导体应用设备、真空电子器件等行业。
公司可以根据客户需要设计特殊结构的离子泵。
● 离子泵无运动机构，是真正的无油、无震动、无噪音的洁净真空泵；
● 极低的极限压强（可达3x10-9Pa），主要作为超高和极高真空系统的主泵（为获得更好的真空，可以选择和吸气剂泵配合使用）。如有需要，也可为客户定制极限真空达10-10Pa离子泵；
● 宽阔平坦的抽速曲线（压强范围10-9~10-3Pa；1×10-7Pa时抽速约为标称抽速的70%）；
● 离子流和压强成正比，可用于真空测量；
● 寿命和压强成反比，超高真空抽气时寿命极长，如1x10-3Pa时寿命为5,000小时，1x10-7Pa时寿命是前者的104倍。若阴极耗完，更换即可；
● 二极离子泵对氩气抽速仅为氮气的1%，不适于抽除惰性气体，但可用于检漏；
● 三极式离子泵对氩气抽速可达氮气的20%，可以有效抽除惰性气体；
● 只需市电就能正常工作，突然停电不损坏设备，不破坏真空，无需值班运行；
● 抽气时耗电极少，无需水冷，运行经济；
● 智能化电源带有计算机接口，便于自动连锁保护，电源故障率低；
● 自带烘烤装置，烘烤方便；
● 可以保持真空状态运输和储存；
● 维修简单方便，费用低。
| 型号 | 名义抽速（L/s） | < 1x10-4Pa下 使用寿命(hrs) | 最大允许启动 压强（Pa） | 极限真空 | 最高烘烤温度（℃） | 法兰接口 | 重量(Kg) | 自带烘烤功率 （Kw） | |
| 2极 | 3极 | （Pa） | |||||||
| SP-2 | 2 | ＞50000 | 1x10-2 | 3x10-8 | 120 或 250 | CF16 | |||
| SP-4 | 4 | ＞50000 | 1x10-2 | 3x10-8 | 120 或 250 | CF16 | |||
| SP-8 | 8 | ＞50000 | 1x10-2 | 3x10-8 | 120 或 250 | CF35 | |||
| SP-15 | 15 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF35 | |||
| SP-25 | 25 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF63 | 11 | ||
| SP-30 | 30 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF63 | 13 | ||
| SP-50 | 50 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF100 | 32 | ||
| SP-70 | 70 | 56 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF100 | 31 | |
| SP-100 | 100 | 80 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF100 | 44 | |
| SP-150 | 150 | 120 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF150 | 68 | |
| SP-200 | 220 | 180 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF150 | 83 | 0.72 |
| SP-300 | 300 | 240 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF150 | 98 | |
| SP-400 | 440 | 360 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF150 | 143 | 0.99 |
| SP-600 | 620 | 500 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF200 | 210 | 1.42 |
| SP-1000 | 1100 | 880 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | CF200 | 290 | 1.98 |
| SP-1500 | 1500 | 1200 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | Φ300金属圈密封 | ||
| SP-2000 | 2000 | 1600 | ＞50000 | 1x10-1 | 3x10-9 | 300 | Φ300金属圈密封 | ||
图中尺寸仅供参考，请以签订合同时图纸为准
三井真空溅射离子泵专用电源采用1/2机箱，配用先进的液晶数显仪表，具有体积小、显示精度高、稳定、可靠、美观等特点。同时它还具有计算机控制接口和多种保护功能，配备两档高压输出选择，供离子泵在不同工作压强时选用。其主要技术指标如下：
● 输入电压：~220V，50HZ
● 变压器最大输出功率：250W
● 输出直流高压：4KV、6KV
● 离子流测量范围：0.1uA~1000mA
● 仪器重量：11Kg
● 具有短路、过载、过热等保护功能。
离子泵内的气体分子在电磁场中高效电离，离子在高压作用下轰击阴极钛板，溅射出新鲜钛材，沉积在阳极筒壁上。活性气体如氮、氧、一氧化碳、二氧化碳等和新鲜钛原子反应，生成稳定的化合物。氢气轰击阴极不能引发溅射，而是钻入阴极内部，形成固溶体抽除。吸附在阳极壁上的惰性气体则被沉积的钛材淹埋抽除。离子泵不是将气体排出真空系统，而是将气体封存于泵内。
