三井真空为中科院电子学研究所成功研制八工位阴极组件预处理系统

真空泵配置：1000L/s离子泵（三井真空）；620L/s分子泵（三井真空）；8L/s旋片泵

极限压力：1.5x10^-7Pa （系统空载；石英管两端使用氟橡胶密封）