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离子泵

离子泵

极限真空3x10-9Pa,与国际知名产品性能相当,性价比高。三井离子泵名义抽速均指真空度在10-6Pa量级时的有效抽速。

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钛升华泵

钛升华泵

无油、无震动、无电磁场;在UHV时提供大抽速,和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa;重量轻,更换钛丝和维修方便。

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saes吸气剂泵

saes吸气剂泵

无油、无震动、无电磁场;抽速和压强无关,和SIP联合抽气极限压强可达到10-10Pa;抽速体积比高,抽速价格比高;激活后室温抽气无需电源。

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(SIP+NEG)复合泵

(SIP+NEG)复合泵

复合泵结合了离子泵和吸气剂泵的优点,互补了两者的缺点,具有了全新的特点。

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